真空系統(tǒng)。是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。

    該真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進(jìn)氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護(hù)及遠(yuǎn)程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進(jìn)行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進(jìn)的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,為人機(jī)界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動化控制。

    真空系統(tǒng)自啟動后，全部運行過程可以實現(xiàn)全自動控制。在工作中，真空系統(tǒng)內(nèi)各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內(nèi)上下波動，其波動范圍可根據(jù)用戶要求進(jìn)行調(diào)整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環(huán)真空泵真空系統(tǒng)能達(dá)到                                                 

流程工藝
    xx臺真空泵啟動后達(dá)不到設(shè)定所需真空時第二臺真空泵啟動至達(dá)到設(shè)定的真空值。當(dāng)達(dá)到所需設(shè)定值后***臺真空泵停止接著第二臺真空泵停止循環(huán)工作。我司的真空系統(tǒng)可在無人操作情況下對系統(tǒng)進(jìn)行自動控制，在停電時可自動封閉真空系統(tǒng)。同時控制箱可以保護(hù)真空泵馬達(dá)過載及短路。

 工作原理
    啟動系統(tǒng)，主真空泵組開始工作，直到真空罐內(nèi)真空度達(dá)到設(shè)定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空系統(tǒng)內(nèi)的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內(nèi)真空度下降并低于設(shè)定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環(huán)往復(fù)，真空系統(tǒng)的真空度能夠維持穩(wěn)定的真空源，滿足生產(chǎn)的要求。

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中山市小欖鎮(zhèn)海泰真空機(jī)電設(shè)備廠

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