由于各種真空泵系統(tǒng)的性能除均能滿足對(duì)容器進(jìn)行抽真空的共同點(diǎn)之外,尚具有不同之處。因此在選用時(shí)必須明確泵在真空泵系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù)是十分重要的,泵在各種不同工作領(lǐng)域中所起的作用歸納起來(lái)主要有如下幾個(gè)方面。
各種不同的真空泵在真空泵系統(tǒng)中有不同的作用,常見(jiàn)的真空泵包括以下幾種:
1. 旋片泵:旋片泵是一種常見(jiàn)的機(jī)械泵,通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)的旋片將氣體排出真空室,用于實(shí)現(xiàn)初級(jí)真空的抽取。旋片泵適用于比較干凈的氣體,但對(duì)于含有大量水分或其他腐蝕性氣體的場(chǎng)合不適用。
2. 動(dòng)態(tài)分子泵:動(dòng)態(tài)分子泵是一種高真空泵,主要通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子使氣體分子受到?jīng)_擊,從而實(shí)現(xiàn)氣體的排出。動(dòng)態(tài)分子泵適用于高真空要求的場(chǎng)合,對(duì)于含有輕質(zhì)氣體和蒸汽的氣體有較好的抽取效果。
3. 污染式離子泵:污染式離子泵是一種特殊的真空泵,它通過(guò)發(fā)射高能離子去污,將氣體分子中的雜質(zhì)和污染物除去,從而實(shí)現(xiàn)高真空的抽取。污染式離子泵適用于對(duì)高純度的氣體和精密儀器裝置的高真空要求。
4. 渦旋泵:渦旋泵是一種容積式真空泵,通過(guò)連續(xù)的容積與排氣相隔離的工作,實(shí)現(xiàn)氣體的排出。渦旋泵適用于對(duì)氣體壓縮比要求較低的場(chǎng)合,能夠?qū)崿F(xiàn)較高真空度。
5. 離心泵:離心泵是一種通過(guò)離心力將氣體排出的真空泵,主要用于大流量和較低真空度的應(yīng)用。離心泵適用于需要快速排除大量氣體的場(chǎng)合,但真空度較低。
不同的真空泵可以根據(jù)不同的工作原理和性能特點(diǎn)在真空泵系統(tǒng)中相互協(xié)作,實(shí)現(xiàn)不同真空度、流量和清潔度的要求。 http:///