在制造業(yè)工廠生產(chǎn)過程中，真空泵是一個至關(guān)重要的設(shè)備。它的作用是將氣體排出設(shè)備，從而創(chuàng)造一個真空環(huán)境，以確保半導(dǎo)體生產(chǎn)的質(zhì)量和效率。然而，由于長期使用和不當(dāng)維護(hù)，真空泵可能會出現(xiàn)故障，影響生產(chǎn)效率。
中山維修真空泵的要點是判斷故障。真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因。
是真空泵的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需要耐心觀察和記錄，從中找出故障原因，比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候，關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，應(yīng)先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴(kuò)散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。
在真空設(shè)備維修中用戶蕞頭疼的一定是檢測漏率問題了。漏分內(nèi)漏和外漏；外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難辦些。外漏較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，用蠟燭或打火機(jī)在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。內(nèi)漏則要從不同真空工作區(qū)域分區(qū)排查，在真空系統(tǒng)達(dá)到一定壓力值后，分別啟動卷繞和蒸發(fā)系統(tǒng)，觀察真空計的讀數(shù)在短暫下降后有無爬升，可以初步判斷內(nèi)漏點方向。內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷卻點的設(shè)備上，在查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是卻有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速明顯偏低，真空計示值低，機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕等，具備以上條件基本可以推斷內(nèi)漏，先將腔體清理干凈，再通冷卻水，仔細(xì)查看通水管路有無濕潤點，濕潤處就是漏點。
說到這里可能的大家覺得好像檢漏也不是那么難啊，為啥說是蕞頭疼的問題呢， 其實呢，大的漏點并不難找，蕞困難的是小漏和微漏了。
可以利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應(yīng)敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，結(jié)合指針式真空計，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動，用這種方法檢漏一定要有耐心，要等到電離計的示值穩(wěn)定了，也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，再噴射，反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點。
中山維修真空泵一定要注意幾個環(huán)節(jié)，拆卸、清潔、檢驗、裝配。真空設(shè)備無論大小都屬于精密機(jī)械設(shè)備，這點很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲；清洗零件時要干凈、徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問題和查出隱患；真空泵類產(chǎn)品與一般機(jī)械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機(jī)械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手，應(yīng)多加小心，切記。
檢查漏點是個細(xì)致活，每個細(xì)節(jié)都不要落掉，更不能存在僥幸心理。經(jīng)常有廠家來求助，說什么都查了，就是真空上不去，可能就是一根供氣的真空膠管沒查，或者一個水接頭處。問題往往出現(xiàn)在不經(jīng)意之處。
中山維修真空泵切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當(dāng)然地開始動手拆卸，會舊病未除又添新病，把本來簡單的問題搞復(fù)雜化了。
有很多廠家問到，常規(guī)的中山維修真空泵可以按部就班地去做，應(yīng)急條件下設(shè)備出了故障，生產(chǎn)任務(wù)又急不可待，這種情況下應(yīng)該如何處理？ 這時，只要判斷故障準(zhǔn)確，采用手頭上現(xiàn)有的材料，真空封泥、真空封蠟、704硅膠、真空腔板等一切可用的材料，只要與在制品不發(fā)生沖突，就可以進(jìn)行修理，應(yīng)急的原則是在不損壞設(shè)備和不影響在制品的條件下做到設(shè)備能正常生產(chǎn)。
真空設(shè)備的配套領(lǐng)域愈來愈廣，很多是與電、電磁、水、氣源和制冷有關(guān)的。相當(dāng)多的情況下不是單一部分的問題，這一點讓人難以在故障排查中進(jìn)行綜合考量，有的是機(jī)械裝配中精度不到位造成的，有的是絕緣材料或結(jié)構(gòu)上的問題，這時，不要急于下結(jié)論，不要急于拆卸設(shè)備，應(yīng)認(rèn)真查勘分析故障現(xiàn)象，以及請教設(shè)備廠家專業(yè)人員，避免誤拆誤卸造成不必要的損失。
良好的真空度是真空設(shè)備運行的前提，在日常使用中，好凱德真空科技也希望大家能認(rèn)真仔細(xì)的做好常規(guī)維護(hù)，防小微杜大患，穩(wěn)定生產(chǎn)以獲取蕞大利潤。 http:///