干式真空泵主要在半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)得到應(yīng)用與發(fā)展。國外的干泵市場正處于蒸蒸日上的階段,如日本,半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,而歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。
干式螺桿真空泵是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的一種真空抽氣設(shè)備。由于干式螺桿真空泵工作過程中無油無水,避免了水資源的浪費和污染,目前深受廣大客戶的喜愛。今天,我們就來一起了解一下干式螺桿真空泵。
干式螺桿真空泵工作原理是利用齒輪,傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿做高速轉(zhuǎn)動,利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個空間、形成多個級,氣體在相等的各個槽內(nèi)進行傳輸運動,但無壓縮,只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用,終形成真空。
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